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該機采用例如三階腔內倍頻(THG)技術同紅外激光比較。355nm紫5聚焦光斑極小,能在很大程度上降低材料的機械變形而加工影響區微乎其微。因而主要用于超精細打標、雕刻、特別適合于食品、醫藥包裝材料打標、打微孔、玻璃材料的高速劃分及對硅片晶圓進行復雜的圖形切割等應用領域。

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